羅茨真空機組是由多種泵串聯起來的機組設備，在使用中也會發生一些故障，從而導致機組無法正常運行，下面總結幾個常見的故障以及處理方法。
　　一、羅茨真空機組單泵電流偏高或超載
　　1、電動機故障；處理方法：檢修或更換電動機。
　　2、投料量過大；處理方法：減少投料量。
　　3、入口管路泄漏嚴重；處理方法：檢查相關管路，消除泄漏。
　　4、放冷凝大管路泄漏；處理方法：清洗泵腔，消除污垢。
　　5、泵體內結垢嚴重；除垢。
　　二、泵體溫度過度
　　1、羅茨真空機組冷卻水流量不足；確保冷卻水水流量。
　　2、進口氣體的溫度偏高；降低進口氣體溫度。
　　3、軸承或齒輪工作不正常；高整軸承徑向游隙或調整齒輪嚙合狀況。
　　羅茨真空機組使用中當遇到遇上問題時，可參考方法來對故障進行排除，大大提高設備的維修效率，同時避免過多的影響工作進度。